膜厚測試千里眼,選區觀測1µm - 市面上的高分辨率顯微成像橢偏技術
2025-07-17 產品技術簡介有別于傳統橢偏儀,這是新一代的顯微成像橢偏儀技術,它有機地結合了傳統光譜橢偏儀和光學顯微鏡技術,使得我們能夠在小至1µm的微結構上以橢偏儀的靈敏度表征薄膜厚度和折射率。顯微鏡部分能夠同時測量光學系統全視場范圍內的所有結構。傳統的橢偏儀注重于測量整個光斑,而不能實現高精度的橫向分辨率,并且需要逐點測量。該設備的顯微鏡功能使得我們能夠獲得微觀結構的橢偏增強對比圖像,在相機的實時圖像中可以看到折射率或厚度的微小變化。允許識別橢偏測量的感興趣區域(選區測量),...