ALD原子層沉積設備操作全攻略:從開機到關機的詳細步驟
2025-03-14
ALD原子層沉積設備是一種用于精確涂層制備的高科技設備。以下是從開機到關機的詳細操作步驟:開機前準備檢查設備連接:確認水源、氣源、電源連接正常,各類管道無泄漏,各氣體閥門處于關閉狀態。檢查真空系統:查看真空泵油位、管路連接及接口密封是否良好。開機操作打開設備總電源開關,啟動控制系統,待設備自檢完成,各指示燈顯示正常。打開工作氣體閥門,調節氣體流量至設定值,并通過氣體質量流量控制器確認流量穩定。啟動加熱系統,按照工藝要求設定加熱溫度,等待加熱元件和反應腔室升溫。打開真空泵,在設...